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경제

삼성전자, 화성에 최첨단 반도체 라인 착공

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[시사뉴스 이동훈 기자] 삼성전자가 23일 경기도 화성캠퍼스에서 삼성전자 화성 EUV 라인 기공식을 열고 본격적으로 라인 건설에 착수했다.

 

이번에 착공하는 화성 EUV라인은 내년 하반기에 완공, 시험생산을 거쳐 2020년부터 본격 가동을 시작할 예정이다.

 

이번 신규라인에는 미세공정 한계 극복에 필수적인 EUV(Extreme Ultra Violet, 극자외선)장비가 도입될 예정이다.

 

반도체 산업은 공정 미세화를 통해 집적도를 높이고 세밀한 회로를 구현하며 반도체의 성능과 전력효율을 향상시켜왔다.

 

그러나 최근 한 자리 수 나노 단위까지 미세화가 진행됨에 따라 보다 세밀한 회로를 구현하기 위해서는 기존 ArF(불화아르곤) 광원보다 파장이 짧은 EUV 장비의 도입이 불가피하게 되었다.

 

EUV 기술이 본격 상용화되면 반도체의 성능과 전력효율을 향상시킬 수 있음은 물론 회로 형성을 위한 공정수가 줄어들어, 생산성도 획기적으로 높일 수 있다.

 

화성 EUV라인의 초기 투자규모는 건설비용 포함 2020년까지 60억불 수준으로, 삼성전자는 라인 가동 이후 시황에 따라 추가 투자를 추진할 계획이다.

저작권자 Ⓒ시사뉴스
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